一、行业背景与发展脉络激光干涉3D与三维形貌检测设备是高端制造精密测量的核心装备，技术迭代与半导体、光通信、新能源产业升级需求深度绑定。从早期单点激光三角传感器，到白光扫描轮廓仪，再到全场激光干涉3D成像设备，行业完成了从单点尺寸测量到全域微纳···