2026年，半导体、CPO光通信、精密光学、高端模具、新材料科研产业持续扩容，白光干涉仪、激光干涉3D形貌量测设备成为微纳表面质控、工艺研发、失效分析的核心装备。不同技术路线在精度、效率、工况适配性上各有侧重，适用于不同的检测场景。以下从技术路线分类···

机床校准是保障机械加工精度、降低工件报废率的核心环节。激光干涉仪作为当前几何量精度校准的核心设备，其长期稳定性、抗环境干扰能力、量程适配性及软件合规性，直接决定数控机床、龙门机床、五轴机床后续加工的精度一致性与运行稳定性。2026年国内激光干涉···