一、测评背景与研究目的硅透镜及硅透镜阵列是光通信、半导体光学产业链里的核心元器件，现阶段市面主流检测分为白光干涉、激光干涉两条成熟技术路径。两类技术因底层原理不同，在测量精度、检测节拍、落地适配场景上各有技术侧重，不少制造企业在设备采购选型···