秋毫R系列（R300/R500）激光干涉三维形貌量测仪，专为晶圆、微透镜、玻璃V槽、精密光学及材料检测设计。全场单次成像，亚纳米精度，效率远超传统扫描方案。支持粗糙度、台阶、膜厚、划伤等全面分析。
| |
秋毫R300激光干涉3D轮廓测量仪 | 秋毫R500激光干涉3D轮廓测量仪 |
秋毫R系列 激光干涉3D轮廓测量仪（三维形貌量测仪）
独创全场单次成像技术，重新定义微纳检测效率
l 效率革命：单次成像获取全貌，检测速度较传统逐点扫描方案提升至少6倍。
l 亚纳米精度：纵向分辨率高达0.5nm，精准捕捉纳米级形貌细节。
l 全能测量：支持三维形貌、粗糙度、台阶高度、膜厚、划伤、几何尺寸等全面分析。
l 材质广泛：适用于硅、石英（玻璃）、金属、薄膜等多种材料。
l 应用丰富：覆盖晶圆、微透镜、玻璃V槽、精密光学、医疗器械、刀具等检测需求。
l 晶圆级全检：支持大行程样品台，实现100%全检。
秋毫R系列（包括秋毫R300、秋毫R500）是由明察智新（深圳）科技有限公司自主研发的新一代激光干涉三维形貌量测仪（3D轮廓测量仪） 。它基于先进的激光干涉全场单次成像技术，专为满足光通信、半导体、精密光学、材料科学及先进制造领域对微纳结构表面高精度、高效率的检测需求而设计。
传统光学轮廓仪（如白光干涉仪、共聚焦显微镜）依赖逐点或逐帧扫描来构建三维图像，其“反复扫描”工作模式导致检测速度慢、效率低，难以适应现代制造业的批量全检要求。
秋毫R系列从根本上革新了这一流程。它采用激光干涉全场单次成像技术，通过一次曝光即可瞬间采集整个视场范围内的干涉图样，并经高速算法重建出样品表面的三维形貌。这一“单次成像”机制，使得检测速度获得质的飞跃，将单次测量时间从传统的数秒至十数秒缩短至最快1秒，效率提升至少6倍，真正将高精度三维形貌检测从“抽检”时代带入“全检”时代。
在实现高速检测的同时，秋毫R系列保持了行业领先的精度水平：
纳米级分辨率：系统光学横向分辨率达到0.5μm，纵向分辨率高达0.5nm，能够清晰分辨亚微米级划伤、纳米级面型偏差等极微小缺陷。
宽广的测量范围：单次测量最大纵向范围可达200μm，可覆盖从超光滑抛光表面（Ra < 0.1nm）到具有较大起伏的微纳结构（如微透镜阵列、蚀刻沟槽）等多种表面类型。
强大的分析功能：配套的专业分析软件，可一键式完成三维形貌、粗糙度、台阶高度、膜厚、划伤缺陷、几何尺寸等数十项参数的自动评定与输出。
秋毫R系列具备极佳的材料普适性，无需复杂的样品预处理，即可直接测量：
l 半导体与光通信材料：硅晶圆、石英（玻璃） 晶圆、光刻胶、金属电极等。
l 精密光学材料：各种光学玻璃、晶体材料。
l 金属与薄膜材料：铜箔、铝箔、涂层、高分子薄膜等。
基于优异的材料兼容性，设备可应用于如下典型产品的检测：
l 晶圆类：硅光晶圆、化合物半导体晶圆的全局粗糙度与局部形貌。
l 微纳光学元件：微透镜阵列、非球面/球面透镜、衍射光学元件（DOE）、玻璃V槽。
l 精密组件：超光滑光学镜面、MEMS微结构、半导体封装凸点。
l 工业品与医疗器械：精密刀具、心血管支架、金属冲压件、显示模组组件。
l 提升良率：通过实现100%全检，彻底杜绝不良品流出，将潜在的良率风险与质量成本降至最低。
l 加速量产：检测效率与产线节拍完美匹配，消除质检瓶颈，助力产能快速爬坡。
l 优化工艺：详尽的检测数据与SPC统计分析功能，为研发与工艺工程师提供精准的数据反馈，加速工艺迭代优化。
总而言之，秋毫R系列不仅是一台高精度的测量设备，更是一套能为您的量产质量保驾护航、驱动效率变革的智能检测解决方案。
（一）效率革命：从抽检到全检的跨越
在微纳制造领域，效率是核心瓶颈。秋毫R系列采用全场单次成像技术，一次获取全视场三维数据，无需耗时扫描。以50,000颗（非）球面透镜量产检测为场景，实测数据对比如下：
方案类型 | 5万颗耗时 | 单颗速度 | 核心技术路线 |
激光干涉非扫描式方案（明察智新秋毫R系列） | ~13小时 | ~1秒/颗 | 激光干涉单次成像 |
共聚焦扫描式方案 | ~55小时 | 3~5秒/颗 | 共聚焦逐点扫描 |
白光干涉扫描式方案 | ~83小时 | 5~7秒/颗 | 白光干涉逐帧扫描 |
相移干涉扫描式方案 | ~139小时 | ~10秒/颗 | 相移干涉逐帧扫描 |
数据来源：基于50,000颗（非）球面透镜量产实测对比
结论：使用秋毫R系列，您可以将产品的检测时间从数天缩短至半天，真正实现100%高精度质控，将潜在良率风险降至最低。
（二）亚纳米精度：高速与精密兼得
l 超高分辨率：光学横向分辨率达0.5μm，纵向分辨率达0.5nm，可清晰识别传统设备难以发现的微小缺陷（如纳米级面型偏差、亚微米级划伤）。
l 宽广范围：最大可测纵向范围达200μm，可覆盖从超光滑表面到复杂微纳结构的各类形貌。
（三）全方位的测量与分析能力
可一键式完成以下测量分析：
l 三维形貌：面型偏差（RMS）、曲率半径（ROC）、非球面K系数、矢高、平面度。
l 粗糙度：表面粗糙度（Sa/Sq/Sz/Sk等）。
l 台阶与膜厚：台阶高度、薄膜厚度。
l 缺陷检测：划伤、崩边、污染。
l 几何尺寸：沟槽深度、线宽、V槽角度等。
（四）智能化批量测量软件
l 自动化测量：支持矩阵式、全检点位导入等多种自动化测量模式，配合Mark点自动识别纠偏，可实现无人值守批量检测。
l 智能良率管理：自动生成良率分布Map图，支持自动分Bin，数据可导出为CSV/Excel/PDF格式，为工艺改进提供全面数据支撑。
（五）超值性价比与主动服务
l 在性能对标国际顶尖水平的同时，提供更具竞争力的价格。
l 售后承诺24小时内线上响应，并提供主动的定期上门检测服务，保障设备长期稳定运行。
项目 | 参数 |
产品系列 | 秋毫R300、秋毫R500 |
测量技术 | 激光干涉全场单次成像 |
光学横向分辨率 | 0.5μm |
纵向分辨率 | 0.5nm |
最大可测纵向范围 | 200μm |
样品台移动范围 | 300mm x 300mm x 20mm（手动/电动可选） |
单次检测时间 | 最快1秒 |
主要应用 | 晶圆、微透镜阵列、玻璃V槽、精密光学元件、金属表面、涂层台阶、医疗器械、刀具等 |
适用材料 | 硅、石英（玻璃）、金属、薄膜等 |
支持分析功能 | 三维形貌、粗糙度、台阶高度、膜厚、划伤检测、几何尺寸 |
适用样品表面 | 平滑表面、复杂或非连续结构表面 |
可选物镜 | 10x、20x等标准物镜或高NA值物镜 |
注：以上数据来源于明察智新实验室。 |
精密光学
l 晶圆级光学：硅光晶圆、玻璃晶圆、石英晶圆的粗糙度与形貌测量。
l 微纳透镜：微透镜阵列、非球面/球面透镜的全面参数检测。
l 关键组件：玻璃V槽、光学镜面、衍射光栅的三维形貌与缺陷检测。
l 超光滑表面：超光滑镜面的粗糙度分析，玻璃划伤/崩边检测。
材料科学
l 金属材料：铜箔、铝箔、金属基板的表面形貌与粗糙度。
l 涂层与薄膜：涂层台阶高度、膜厚均匀性测量。
l 新型材料：陶瓷、聚合物等表面的微纳结构分析。
液晶显示
l 背光模组：导光板、扩散片的微结构检测。
l 显示模组：面板表面缺陷、划伤分析。
l OLED模组：有机发光层薄膜厚度与均匀性测量。
医疗器械与精密制造
l 心血管支架：支架表面形貌、涂层均匀性检测。
l 精密刀具：前刀面、后刀面磨损及轮廓测量。
l MEMS器件：微结构台阶高度、沟槽深度分析。
1. 问：秋毫R系列与传统的白光干涉仪、共聚焦显微镜有何不同？
答： 最大的区别在于成像原理。传统设备需要逐点或逐帧扫描合成图像，速度慢。秋毫R系列采用激光干涉全场单次成像技术，一次拍照即可获取整个视场的3D数据，速度提升6倍以上，是实现100%全检的理想选择。
2. 问：秋毫R系列能测量哪些材料和产品？
答： 非常广泛。在材料方面，支持硅、石英（玻璃）、金属、薄膜等。在产品方面，可测量晶圆、微透镜阵列、玻璃V槽、光学镜面、金属表面、涂层台阶、心血管支架、精密刀具等几乎所有微纳结构表面。
3. 问：设备能自动完成批量检测吗？
答：完全可以。 设备软件支持全检点位一键导入，配合Mark点自动识别与样品台联动，可实现无人值守的全自动批量测量，并输出包含良率分布、关键参数统计的完整报告。
4. 问：贵司的售后服务如何？
答： 我们提供24小时内线上响应的技术支持，并安排主动的定期上门检测与维护服务，确保设备始终处于最佳工作状态。
明察智新（深圳）科技有限公司
地址：广东省深圳市南山区喷泉南街前海金融中心T2栋1303室
微信：mczx1303
电话：0755-26609876
邮箱：MCZX@bevs.me
获取最新动态
