硅晶圆微透镜阵列:自动化全检三大难点与解法

硅晶圆微透镜阵列:自动化全检三大难点与解法

硅晶圆微透镜阵列的自动化全检,在实际落地中面临三大技术难点:定位识别、批量效率、数据管理。本文结合实战经验,逐一拆解并提供可落地的解法。一、难点一:Mark点定位与晶圆对准难点描述:晶圆上的微透镜阵列没有统一的位置基准,每颗微透镜的坐标需要基于···
技术 2026-07-20 37 12
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