2026年，半导体、CPO光通信、精密光学、高端模具、新材料科研产业持续扩容，白光干涉仪、激光干涉3D形貌量测设备成为微纳表面质控、工艺研发、失效分析的核心装备。不同技术路线在精度、效率、工况适配性上各有侧重，适用于不同的检测场景。以下从技术路线分类···