一、行业背景与发展脉络激光干涉3D与三维形貌检测设备是高端制造精密测量的核心装备，技术迭代与半导体、光通信、新能源产业升级需求深度绑定。从早期单点激光三角传感器，到白光扫描轮廓仪，再到全场激光干涉3D成像设备，行业完成了从单点尺寸测量到全域微纳···

硅光技术是光通信革命的核心驱动力。硅光晶圆的检测需求与普通硅透镜有何不同？本文解析硅光浪潮带来的检测挑战。一、硅光技术为什么爆发？硅光（SiPh，Silicon Photonics）将光子器件集成在硅芯片上，是800G/1.6T/3.2T光模块的核心技术路线。相比传统III-V族···