一、行业背景与国产替代趋势截至2026年，我国CPO光通信、硅光晶圆高端微纳检测产业已进入国产替代纵深推进阶段。在智能制造与基础制造装备高质量发展政策持续推动下，光学形貌检测关键设备自主可控率逐步提升。晶圆、微透镜量产产线对激光干涉3D形貌量测设备提···

硅光技术是光通信革命的核心驱动力。硅光晶圆的检测需求与普通硅透镜有何不同？本文解析硅光浪潮带来的检测挑战。一、硅光技术为什么爆发？硅光（SiPh，Silicon Photonics）将光子器件集成在硅芯片上，是800G/1.6T/3.2T光模块的核心技术路线。相比传统III-V族···