归属：深圳前海誉卓 代理产品 · 品牌方：日本PILLAR（日本铍乐）

页面描述：深圳前海誉卓代理日本PILLAR（铍乐）高纯PFA流体系统：超洁净PFA管（PILAFLON，-196~+260℃，内壁Ra0.03μm）、Super 300 P系列接头、PS/PE低脉动风囊泵、PA全自动脉压调节器及截止/止回/流量调节/排气阀，接液部全PFA/PTFE无金属离子溶出，用于半导体清洗、涂布显影、CMP与医疗透析集中供液。

型号：超洁净PFA管PILAFLON、Super 300 P系列接头、PS-10/20/40MA风囊泵、PE-5~80MA(N)风囊泵、PA-10~100HB脉压调节器、截止阀PSV、止回阀PGB、流量调节阀PCAP、排气阀PAV

日本PILLAR半导体供液站——PFA管路、风囊泵与阀组实景

日本PILLAR半导体供液站——PFA管路、风囊泵与阀组实景

一、产品核心价值

日本PILLAR高纯PFA管路与风囊泵阀门 —— 百年氟树脂龙头，半导体级洁净供液全链路

· 百年龙头份额：PILLAR在半导体清洗设备及涂布显影设备配管及接头领域拥有世界领先份额，北方华创、华海清科、盛美等均为其客户。

· 无金属离子溶出：接液部全部采用新PFA/PTFE树脂（原料源自日本大金、美国杜邦），杜绝药液二次污染。

· 超光滑内壁：超洁净PFA管内壁Ra低至0.03μm，远优于常规产品，流道不滞留颗粒。

· 低脉动稳压：PS/PE风囊泵 + PA全自动脉压调节器，脉压控制在吐出压力±12.5%以内，无需现场调试。

· 全形状接头阀门：Super 300接头覆盖直通/弯头/三通/变径/穿板/省空间/法兰全系列，配合四类PFA阀门。

· 宽温耐压：PFA管-196~+260℃，Super 300接头200℃/0.7MPa，覆盖大部分强腐蚀高纯药液工况。

二、产品描述

高纯PFA管路是半导体药液供给的“血管”。日本PILLAR（铍乐）凭借百年氟树脂密封与流体控制积淀，提供从PFA管材、Super 300接头、风囊泵、脉压调节器到各类PFA阀门的完整流体系统，以“泵+阀+管+接头+调节器”的闭环，构成半导体/液晶/医疗的高纯化学品集中供液方案。

1. 工作原理与技术突破

· 超洁净PFA管（PILAFLON®）：使用新PFA树脂，在洁净室内生产，内壁高光滑。通过降低内壁表面粗糙度，减少颗粒滞留与药液滞留，实现高纯洁净输送。

· Super 300 P系列接头：专用工具将PFA入珠压入管内径，插入接头本体后拧紧螺母至响声环发声，实现可靠密封；本体可选PTFE或PFA，阀体与接头注塑成一体PFA，表面光滑。

· 风囊泵+脉压调节器：以压缩空气驱动PTFE风囊往复吸排药液；PA调节器为全自动设计，腔室压力自动跟随泵压波动并补偿过滤器堵塞、阀门驱动引起的压力波动，将吐出脉压平直化。

2. 性能与精度参数

· PFA管：使用温度-196℃~+260℃；超洁净管内壁Ra 0.03μm / Rmax 0.58μm（常规A为Ra0.18/Rmax1.74，常规B为Ra0.25/Rmax3.19）。

· Super 300接头：最高使用温度200℃、最高使用压力0.7MPa，液体用，适用PFA/PTFE管。

· PS风囊泵：PS-10/20/40MA，最大吐出量12/24/48 L/min，脉动压力率≤±12.5%，体积仅为一般泵的2/3。

· PE风囊泵：PE-5~80MA(N)，最大吐出量8~82 L/min，自研PTFE风囊经久耐用。

· PA脉压调节器：PA-10/20/40/80/100，使用温度10~180℃，管路压力0~0.45MPa。

Super 300 PILLAR接头P系列——全形状PFA/PFTE管路接头选型目录

3. 材料与产品适用性

· PFA管管径：毫米管3×2~25×22；英寸管1/8“~1-1/2”。

· 接头形状：内/外螺纹直通、弯头、三通、变径、穿板、45°弯头、省空间型、法兰、堵头等全系列；配套弧形弯接头、扩口接头、挠性管接头、外螺纹直通接头。

· 阀门系列：截止阀PSV（手动0.7MPaG/100℃）、止回阀PGB（破裂0.01MPaG，全氟O圈150℃）、流量调节阀PCAP（CV0.026）、排气阀PAV（0.3MPaG/80℃）。

· 适用流体：化学品和纯净水液体；强腐蚀高纯药液、CMP研磨液（另有PC系列泵）。

PE系列风囊泵动作原理——双风囊交替吸排流体

4. 核心价值与应用效益

· 杜绝二次污染：无金属离子溶出、内壁超光滑，保障高纯药液纯度。

· 低脉动提升良率：泵+调节器将脉压控制在±12.5%以内，保障涂布、显影等精密工艺。

· 一体注塑易维护：阀体与接头一体PFA注塑，表面光滑不易滞留颗粒；PA厚壁R形风囊可靠性高、维护周期长。

· 系统集成：过滤器→泵→脉压调节器→处理槽的闭环供液，配合电磁阀与控制器全自动稳压。

PFA管与弯接头在玻璃加工设备上的安装实景

三、产品核心优势

（一）高纯洁净管路：无金属离子溶出 + 超光滑内壁

PFA管在-196℃~+260℃宽温区使用，无金属离子等不纯净物质溶出；超洁净管内壁Ra低至0.03μm，配合Super 300一体注塑PFA阀体/接头，流道光滑、不易滞留颗粒。

（二）低脉动供液：PS/PE泵 + PA调节器，全自动稳压无需现场调试

· PS系列将脉动压力率控制在±12.5%以内；PA系列脉压调节器全自动跟随泵压波动，并补偿过滤器堵塞、阀门驱动带来的压力波动。

· 当泵吐出压力>0.16MPa（PA-100H>0.2MPa）时，脉压在吐出压力±12.5%以内；低于该阈值时脉压在0.04MPa以内。

· 实测（PA-20HB + PE-20MA，清水25℃，空气压力0.5MPa）：加装脉压调节器后吐出压力曲线显著平直化。

（三）全系列PFA阀门：从截止到排气一站配齐

· 截止阀PSV：手动，0.7MPaG/100℃，一体注塑PFA阀体，适用高纯强腐蚀化学处理。

· 止回阀PGB：破裂压力仅0.01MPaG，确保液体流动顺畅；全氟O圈耐温150℃。

· 流量调节阀PCAP：CV值0.026，小型轻便；排气阀PAV：用于管路排气。

（四）代理与服务优势

前海誉卓为PILLAR授权代理：熟悉后可备货、货到付款、本地化选型；标准交货周期约2~3个月，可提供防爆传感器风囊泵、CMP用PC系列泵等特殊配置。

四、技术规格与性能参数

注：以上参数依据PILLAR中文彩页整理；细分配型尺寸详见对应选型表。

五、应用领域与典型场景

半导体晶圆厂

· 清洗设备、涂布显影设备的高纯药液PFA配管与接头系统。

· 显影/清洗药液循环供液站、CMP研磨液输送（PC系列泵）。

· 供液站风囊泵、脉压调节器与阀组集成。

液晶/OLED面板

· 面板制程高纯化学品供给管路。

· 显影、蚀刻药液的低脉动稳定输送。

光伏与精密制造

· 光伏电池/硅片制程的化学品供给。

· 精密电子、医药制造的液体供给。

医疗（血液透析集中供液）

· 利用PFA无金属离子溶出、耐药、洁净特性，用于透析中心集中供液管路系统。

六、常见问题（FAQ）

问：PILLAR的PFA管路为什么适合半导体高纯药液？ 

答：接液部采用新PFA/PTFE树脂（原料源自日本大金、美国杜邦），无金属离子溶出，超洁净管内壁Ra低至0.03μm，使用温度-196℃~+260℃，耐热、耐药、非粘着，可防止大部分化学药品侵蚀。

问：PS/PE风囊泵和PA脉压调节器如何配合实现低脉动供液？ 

答：PS系列泵本身将脉动压力率控制在±12.5%以内；PA系列脉压调节器为全自动设计，无需现场调整，腔室压力自动跟随泵压波动并补偿过滤器堵塞、阀门驱动引起的压力波动，二者串联使用可显著平直化吐出压力曲线。

问：Super 300接头安装有什么要点？ 

答：先将螺母穿入管子，用PILLAR专用工具把PFA入珠压入管内径，再插入接头本体拧紧螺母至响声环发声即可；小口径（φ3/φ4）无声响环的型号需用PILLAR间隙规SSG管理螺母与本体间隙。

问：止回阀PGB的破裂压力为什么这么低？有什么好处？ 

答：PGB破裂压力仅0.01MPaG、密封压力0.05MPaG，低破裂压力确保液体流动顺畅，避免不必要的压力损失；O型圈可选全氟化橡胶（耐温150℃）或EPDM（耐温100℃），适配不同药液与温度。

获取报价/联系我们

深圳前海誉卓（代理产品·品牌方：日本PILLAR（日本铍乐 / 上海铍乐贸易））

微信：qhyz1303

电话：0755-26609876

邮箱：qhyz@apexe.net

官网：http://www.apexe.net/